스템코

STEMCO持有的技术

金属薄板微电路蚀刻(Thin-Metal Fine Pattern Etching)

概要
通过金属刻蚀实现可适用于Filter等多种领域的技术
특징
· 可适用于多种金属种类(Cu、Ni、Invar、SUS等)的蚀刻液与蚀刻技术
· 可按照客户需要的规格进行定制设计的技术(Photo Mask设计、Etching Factor控制、形状控制)
· 薄板/厚板材料(30~100㎛)的超薄板化(10~20㎛)Uniformity控制技术
· 宽幅(Max. 500mm)Roll to Roll均匀Etching技术
· 薄板(Min. 10㎛)金属应力控制技术
· 可进行自动检查(拥有不合格品自行判定技术)
配置
· Thickness : 10㎛ ~ 100㎛
· Width : 150~500mm
技术适用领域
MEMS Filter
MEMS Microphone用防震Filter
相关图片
  • Hole(25*25㎛)